規格?????????????? ? 設備配置???????????????????????? 功率KW
??????真空箱
???????????????? 寬×高×深(mm)????????? 真空泵????
GEM-30????300×300×300????2X-4/2X-8????0.55/1.1
GEM-40????400×400×400????2X-8/2X-15????1.1/2.2
GEM-50????500×500×450????2X-15/2X-30????2.2/3
GEM-60????600×600×500????2X-30/2X-70????3/5.5
GEM-70????800×700×500????2X-70/X100????5.5/7.5